Perfilòmetre mecànic KLA Tencor P-15
El KLA Tencor P-15 és un perfilòmetre que permet mesurar perfils negatius i positius en el rang dels micròmetres als nanòmetres, amb un alta grau de precisió i exactitud. Addicionalment, permet l’obtenció de rugositat, ondulació i altres paràmetres de superfície.